¡¡¡¡Ëûƽ»º¶øÀä¾²µÄÐð˵£¬µ×ϵÄÈ˽¥½¥Æ½¾²£¬¾¡Á¦£¿¸úÉÏËûµÄ˼·£¬Â¼ÒôµÄ¼Òô¡¢×ö±Ê¼ÇµÄ×ö±Ê¼Ç£¬´ó²¿·ÖÈËÒѾÖ𽥸ú²»ÉÏËûµÄ˼·£¬ÕýÒò´ËÐÄÖУ¿ÐÅÈεÄÌìÆ½²»×Ô¾õÇãÏòÓÚËû¡£
¡¡¡¡Ò»Ð©ÈÏΪ13¡£5nm¹âԴϵͳ±»¹¥ÆÆÊÇ»ÑÑÔµÄѧÕߣ¿±¾ÒâÏë½Ò´©Æ¾Ö£¬ÏÖÔÚÈ´ÒѾÐÅ·þ£¬Ê£Ï´ó°ëÌØÒâ½»ÁËÎåǧÈ볡·ÑÄÇ£¿¾ÍÊÇÀ´¼û£¿Ö¤Ææ¼£µÄ£¡
¡¡¡¡½á¹ûûÓй¼¸ºËûÃÇµÄÆÚÅΣ¬Ê¢Ã÷°²ÕæµÄ´øÀ´ÁËÆæ¼££¡
¡¡¡¡ÉÏÒ»¿ÌËûÃÇΪ¸ßͨºÍasmlÁªÊÖ´òÔìµÄ¶¥¼¶´¦ÀíÆ÷¶ø¾øÍû¡¢ÏÛĽ¡¢¼µ¶Ê¡¡ÐÄÖУ¿×ÌζÔӳ£¬´Ë¿Ì¾Í³¢µ½£¿ÁËÆæ¼£´øÀ´µÄÎÞ£¿±ÈÃÀÃîµÄÐ˷ܼ¤¶¯¸Ð£¿¡£
¡¡¡¡¡°ÈçºÎÌá¸ßeuv°Ð²Ä×é·Ö¡¢ÐÎ̬£¬ÈçºÎÓÅ»¯¼¤¹âÔ´£¬ÒÔ¼°Í¨¹ý²Éȡ˫Âö³å·½°¸Ìá¸ß¹âÔ´µÄceÖµ¡¡¡±
¡¡¡¡¹ØÓÚÕâ·½ÃæµÄ¼¼ÊõÆäʵ£¿ÒѾ±àд³ÉÂÛÎÄ£¿Í¶¸å£¬´Ë¿ÌÖØËµÒ»±éÐÅÊÖÄéÀ´¡£
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²×Ô¹Ë×ÔµÄ˵ÏÂÈ¥£¿£¬Ã»ÓÐÈË´ò¶ÏËû£¬ºÜ¿ì»á³¡ÖУ¿Ö»Ê£ÏÂËûÒ»¸öÈ˵ÄÉùÒô£¬Çå´àÀäµ£¬ÒýÈËÈëʤ¡£
¡¡¡¡ºÚÉ«µÄ»úÆ÷ÄÚ²¿Æ÷¼þÔË×÷·¢³ö΢ÈõµÄÎËÎËÉùÏ죬×Ë̬³ÁĬ¼Å¾²¶øÖÒʵ£¿µÄ¼Ç¼×Ą̊ÉÏΨһÔÚ·¢¹âµÄÇàÄê¡£
¡¡¡¡ºÚ·¢°×·ô£¬°×É«tÐôºÍÇᱡ¿îµÄºìÉ«°ôÇòÍâÌ×£¬Ãæ¿×ƯÁÁµÃ³äÂú¹¥»÷ÐÔ£¬ÆøÖÊÈ´ÓÖÇåÀ䣬Ŀ¹âÀä¾²î£ÖÇ£¬µß¸²ÁËÈËÃǶÔÓÚ¿ÆÑÐÈËÔ±¼òÆÓËØ¾»µÄÐÎÏó¡£
¡¡¡¡ËûƯÁÁÖÁ¼«£¬´©×Å´îÅä³äÂúʱÉиУ¿£¬ÊÇÒ»¸ö¿¡ÇÎÑÅÀöµÄÇàÄêÈË¡£
µÚ74Õ¡¡É½Î¡£§06£§¡¡¡°Î´À´µÄºÏ×÷¶ÔÏó»òÐíÊÇ»ª¹ú¡£¡±
¡¡¡¡¡°À¶ºÓ¿Æ¼¼ÓëÉêÊÐ΢µç×ӿƼ¼´ï³ÉÕ½ÂÔºÏ×÷£»¹²Í¬×é×°13¡£5nmeuv£¬ÒÑ£¿Íê³É·ÂÕæ½¨Ä£µÄ³õ²½½×¶Î¡£Í¬Ê±£¿Ë®Ä¾´óѧµÄÖì½ÌÊÚ´«À´Ë«¹¤×÷̨ϵͳºËÐļ¼Êõ±»¹¥ÆÆ¡¢ÄÏ´ó¹âµçÑз¢µÄarf¹â¿Ì½º½ø¶È·ÉËÙ£¬ÉêÊкͣ¿´º³Ç¹â»úËùÒ»Ö±³Ð½Ó¹ú¼Ò£¿02רÏî¹âѧϵͳ¡¡¡±
¡¡¡¡¡°À¶ºÓ¿Æ¼¼ÓÐÐÅÐÄÓÚ½ñÄêÄêµ×Íê³É13¡£5nm¼«×ÏÍâ¹â¿Ì»úµÄ¹¤³ÌÑéÊÕ¡£¡±Ê¢Ã÷°²¶ÙÁ˶٣»»·¹ËÑݽ²ÌüһȦ£»Ñ¯ÎÊ£¿£º¡°ÓÐÒªÌáÎÊ£¿µÄÂ𣿡±
¡¡¡¡¡ª¡ª
¡¡¡¡È«³¡°²¾²£»Ã»£¿ÈËÌáÎÊ£¿¡£
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²Ìôü£¬Ñ§ÊõȦ²»ÊǺÜÌôÌÞµÄÂð£¿
¡¡¡¡Ò»°ãÀ´Ëµ£¬ÓйØÑ§ÊõµÄÑÐÌֻᶼ»áÒýÀ´´óÅúÌýÆðÀ´ºÜÏñµóÄѵÄÌáÎÊ£¿£»ÉÏ£¿ÎçµÄÖ÷£¿ÌâÑݽ²ºÍ£¿Ç°¼¸¸öרÌâÑÐÌÖ»áºóÆÚ¾ÙÊÖѯÎÊ£¿µÄÈ˺ܶ࣬ÄÄÅÂÊÇij³¡·Ç³£·óÑܵÄÑݽ²Ò²ÓÐÖ÷£¿°ì·½Ìáǰ°²ÅÅÑÝÔ±¾ÙÊÖÌáÎÊ£¿£¬ÒÔÃâ³öÏÖÀ䳡µÄÞÏÞξÖÃæ¡£
¡¡¡¡ÔõôÂÖµ½£¿ËûÁË£¬È´Ã»£¿ÈËÌáÎÊ£¿£¿
¡¡¡¡ÄѵÀÊÇËû³ÐŵÄêµ×Íê³É13¡£5nm¹â¿Ì»ú¹¤³ÌÑéÊÕÌ«¿äÕÅ£¬Ã»£¿ÓÐÈËÏàÐÅ£¿
¡¡¡¡Ëûƽʱ£¿Ã»£¿Õâôð½ø£¬Ö»ÊÇĪÂ׿ƷòµÈ£¿È˵Ä×ö·¨Ì«±°±ÉÈÃËûÄѵÃÉú³öÅÆø£¬Õâ²ÅÅׯúÔÏȱ£ÊصÄÑݽ²£»½ø¶øÒÀ¿¿Ç°ÊÀÑз¢×é×°¹â¿Ì»úµÄ֪ʶÁÙʱ£¿·á¸»Ñݽ²ÄÚÈÝ¡¢´óµ¨Ô¤ÑÔÄêµ×½»³öÁîÊÀÈËÖõÄ¿µÄÍêÃÀ´ð¾í¡£
¡¡¡¡µ«ÕâÒ²²»Ëã¿ä´óº£¿Ú£¬ÔÚÊ¢Ã÷°²ÔÏȵļƻ®ÀËûȷʵ´òËãÄêµ×Íê³Éһ̨13¡£5nm¹â¿Ì»úÑéÊÕ£»Ã÷ÄêµÚÒ»¼¾¶ÈÊÛ³ö¿ÉÁ¿²úµÄ¸ß½×euv¡£
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²²»»Å²»Ã¦£¬¶Ô×Å»°£¿Í²ÔÙÎÊ£¿Ò»±é£º¡°ÔÚ³¡»¹ÓÐû£¿ÓÐÎÊ£¿Ì⣿¡±
¡¡¡¡¡°¡ª¡ª¡±
¡¡¡¡°²¾²³ÖÐøÁ½Ã룻ÏÂÒ»¿ÌÕÆÉùÈçÀ×Ãù£»µ×ÏÂ×ø×ŵÄÈËÒ»´ó°ë¶¼ÆðÉí¼¤¶¯¹ÄÕÆ£»Ç°ÅŵĴóÀÐÃÇ»¹Ëãñæ³Ö£»Ö»º¬Ð¦¹ÄÕÆ¡£
¡¡¡¡¶ø¸ßͨ¸ß¹Ü¡¢asml¸ß¹ÜÖ®£¿Á÷ÃæÉ«ÄÑ¿´£¬½©Ö±²»¶¯¡£
¡¡¡¡ÄªÂ׿ƷòתͷµÍÉùѯÎÊ£¿×óÊÖÅÔµÄasml¸ß¹Ü£º¡°Ëû˵µÄ»°£¿ÊÇÕæÊµµÄÂð£¿À¶ºÓ¿Æ¼¼ÊDz»ÊÇÄܹ»Ôì³öÓÅÓÚasmlµÄeuv£¿¡±
¡¡¡¡asml¸ß¹ÜÓÇÐÄâçâ磺¡°Èç¹ûËûÃǹ¥ÆÆÁË13¡£5nmµÄ¹âԴϵͳ¼¼Êõ£¬ÓÅÓÚasmlµÄeuvȷʵ¡¡ºÜ¿ÉÄܱ»¹¥ÆÆ£¡¡±
¡¡¡¡¡°£¡£¡¡±ÄªÂ׿Ʒò£º¡°¼¼Êõ±»·âËøµÄ»ª¹úÈËÔõô¿ÉÄÜÔìµÃ³ö¸´ÔӵĹâ¿Ì»ú£¿¡±
¡¡¡¡Ëû½ôÖåüͷ£¬ÒõðºµÄ¿´Ïǫ̀ÉÏ£¿µÄÊ¢Ã÷°²£º¡°ËûÊÇË£¿ÎÒ´ÓÀ´Ã»£¿ÓÐÌý˵¹ýËû¡ª¡ª»ª¹úÈ˵ÁÇÔÁËÎÒÃǵļ¼Êõ£¿£¡¡±
¡¡¡¡asml¸ß¹ÜÒ¡Í··ñ¶¨£º¡°ËäÈ»¶¼ÊǸ߽׼«×ÏÍâ¹â¿Ì»ú£»µ«ÏÔÈ»ºËÐļ¼Êõ²»Ò»Ñù¡£¡±
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²Ñݽ²ÄÚÈݲ»Éæ¼°ºËÐļ¼Êõ£¬Ö»ÃèÊöÁËÂÖÀª£¬¿ÉÊÇasml¸ß¹ÜÒÑ£¿¾ÄÜ´ÓÂÖÀª·Ö±ð³ö¼¼ÊõµÄ²»Í¬¡£
¡¡¡¡¸üºÎ¿öasmlµÄºËÐļ¼Êõ·Ö±ðÕÆÎÕÔÚ²»Í¬¹ú¼Ò£¿µÄÆóÒµ£¬¶øÕâЩÆóÒµ´«³ÐËÄÎåÊ®ÄêÉõÖÁÉÏ£¿°ÙÄ꣬ÎÞÂÛÊǺËÐļ¼ÊõµÄ±£ÃÜ»¹ÊÇרÀûµÄ±£»¤£¬Ö»ÓÐËûÃÇ¿ÓÈ˵ķݡ£
¡¡¡¡asml¸ß¹ÜÕâôһ˵£¬ÄªÂ׿ƷòÁ³ÉÏ£¿ÑªÉ«È«ÎÞ£¬Ú¨Ú¨±Õ×죬µ«ÐÄÇéÖ±µô¹Èµ×¡£
¡¡¡¡Ç°ÈýÅÅÊÜÑû¼Î±öÈôÓÐËù˼£¬ÓÐÈ˲àÉíѯÎÊ£¿ÌìÒ°ºÆ£º¡°ÌìÒ°ÏÈÉú£¬ÄúÌýÃ÷°×£¿ÁËÂ𣿡±
¡¡¡¡ÌìÒ°ºÆµãÍ·£º¡°Ëû˵ÁËÒ»¸ö»ù´¡ÂÖÀª£¬´ó·½Ïòû£¿Óгö´í¡£Èç¹û¿ÉÒÔ£¬ÎÒÏ£ÍûÄܹ»Ç××ÔÈ¥Ò»ÌËÀ¶ºÓ¿Æ¼¼²Î¹Û¹âԴϵͳÉ豸¡£¡±
¡¡¡¡¡°ÄúµÄÒâ˼ÊÇ˵ËûÃÇÕæµÄ¹¥ÆÆeuvµÄ¼¼Êõ£¿£¡¡±
¡¡¡¡ÌìÒ°ºÆ»ØÁËÒ»¾ä±È½Ï½÷É÷µÄ»°£¿£º¡°Î´À´µÄºÏ×÷¶ÔÏó»òÐíÊÇ»ª¹ú¡£¡±
¡¡¡¡Ò»¾ä»°£¿ÒÑ£¿×㹻˵Ã÷Ê¢Ã÷°²Ñݽ²ÄÚÈÝÖÁÉپųÉÕæÊµ£¬ËûÌá³öµÄ·½°¸³É¹¦Âʽӽü100£¥¡£
¡¡¡¡¶ø¿ÆÑз½°¸µÄ³É¹¦Âʵ«·²ÓÐ5³É£¬¾Í×ãÒÔÎüÒý´óÁ¿Í¶×Ê¡£
¡¡¡¡Ç°ÅŹúÄÚ°ëµ¼ÌåÁúÍ·ÆóÒµ¸ß¹ÜϲÐÎÓÚÉ«£¬´Ë¿ÌÐÄÀï·×·×ÅÌËãÔõôͶ×ÊÀ¶ºÓ¿Æ¼¼£¬ÓÖ¸ÃÓÃʲô·½Ê½¼ÓÈë½òÊа뵼Ìå»ù½ð¡£
¡¡¡¡ÏëÏ뻪¹úоƬÊг¡Óжà´ó£¿Ã¿Äê½ø¿ÚоƬÊǶàÉÙ£¿
¡¡¡¡Á½Ç§ÒÚ£¡ÈýǧÒÚ£¡
¡¡¡¡²»ÊÇÈËÃñ±Ò£¬¶øÊÇÃÀ½ð£¡
¡¡¡¡ÕâÖ»ÊÇÿÄê½ø¿ÚµÄоƬ»¨·ÑµÄÇ®£¬³ý´ËÖ®£¿Í⻹Óи÷ÖÖÖÆÔìоƬµÄ»úÆ÷É豸£¬¹â¿Ì¡¢·â×°²âÊÔ£¬Ð¾Æ¬Éè¼ÆÈí¼þ¼°ÆäÑÜÉúÅÔ֦ĩ½ÚµÄÐУ¿Òµ¡¡
¡¡¡¡ÉһÌõÍêÕûµÄ°ëµ¼Ìå²úÒµÁ´Æäʵ²»½öÊǼòµ¥µÄÉÏ£¿ÖÐÏÂÓεÄicÉè¼Æ¡¢¹â¿Ì»úºÍ£¿Ð¾Æ¬·â²â£¬ÆäÑÜÉú¼°¹ØÁªÐУ¿Òµ¹²Í¬´òÔì³öÒ»¸öÅÓ´óµÄ΢µç×ÓÍõ¹ú¡£
¡¡¡¡ÏëÏë¿´£¬ÃÀ¹úƾһ¿éоƬ¡¢Ò»Ì¨¹â¿Ì»ú¾ÍÄÜÇá¶øÒ×¾Ù»÷À£»ª¹úÊýÒ»Êý¶þµÄ°ëµ¼Ìå´ó¹«Ë¾£¬¶øÏÖÔÚ£¬ËûÃÇ¿´µ½£¿ÁË»ª¹ú¿Æ¼¼Õƿػ°£¿ÓïȨµÄδÀ´£¡
¡¡¡¡¾ÍÔÚ²»Ô¶µÄ½«À´£¬»òÐíÄêµ×£¬»òÐíÃ÷Ä꣡
¡¡¡¡ËûÃǾÍÄܽ«ÕâÊ®¼¸¶þÊ®ÄêÀ´Á÷Ïò¹úÍâµÄ×ʽðͳͳ»ØÊÕ»ØÀ´£¡ËûÃÇ¿ÉÒԺݺݵأ¿³åןßͨÕâЩÑÛ¾¦³¤ÔÚÍ·¶¥µÄÅ·ÃÀ×ʱ¾ÂîÒ»¾ä£ºÈ¥ÄãÂèµÄ£¡
¡¡¡¡ËùÒÔËûÃÇÔõôÄܲ»¼¤¶¯£¿
¡¡¡¡°ëµ¼ÌåÐУ¿Òµ´óÀÐÃÇÏÖÔÚºÞ²»µÃ¾ÍµØ£¿ÆðÉí³åÉÏ£¿Ì¨ÀסʢÃ÷°²Ì¸ºÏ×÷̸ÂòÂô£¬ÉõÖÁ»¹Ïë´òµç»°£¿ÈÃÈËÁ¬Ò¹Í¶×ʽòÊа뵼Ìå»ù½ð£¡
¡¡¡¡ÒòΪ¸ß½×¹â¿Ì»úÔÚÀ¶ºÓ¿Æ¼¼£¬¶øÀ¶ºÓ¿Æ¼¼ÔÚ½òÊУ¡
¡¡¡¡½òÊеİ뵼Ìå»ù½ð»á±ä³ÉÁËÏãâÄâÄ£¬Á¬Ò»Ì²ÀÃÄàµÄºèоҲ±äµÃ½ð¹â²Ó²Ó¡£
¡¡¡¡±¬À×£¿Ìì´óÕ®ÎñºÍ£¿·çÏÕ£¿
¡¡¡¡²»´æÔڵġ£
¡¡¡¡ÓÐÁ˸߽׹â¿Ì»ú£¬»¹ÅÂÕû²»»îºèо£¿
¡¡¡¡ºóÅŵÄѧÕßû£¿Ç°ÅÅÀÏ×ÜÃÇÐÄ˼¶à£¬µ±¼´¾ÙÊÖ´óÉùѯÎÊ£¿£º¡°Ê¢Éñ£¿£¬ÇóÎÊ£¿»ùÓÚÁ£×ÓȺ¹âÔ´ÓÅ»¯Ëã·¨£¡¡±
¡¡¡¡¡°Ê¢Éñ£¿£¬ÄúÖªµÀ¹èƬ¶¯Á¦Ñ§Â𣿡±¡¢¡°Ê¢Éñ£¿£¬Äú¶Ô¹â¿Ì»ú½á¹¹¶¯Á¦Ñ§ÏîÄ¿ÓÐû£¿ÓÐÐËȤ£¿ÎÒÔÚ×öÕâ¸öÏîÄ¿£¬³ÏÑûÄú²Î¼Ó¡ª¡ª¡±
¡¡¡¡ÌýÖÚÆß×ì°ËÉ࣬ÈÈÇéËÆ»ð£¬Ê¢Ã÷°²Ï°ÒÔΪ³££¬ÌôÑ¡¼¸¸ö±È½ÏÓк¬½ðÁ¿µÄÎÊ£¿Ìâ»Ø´ð¡£
¡¡¡¡Ì¨ÏµÄýÌå¼ÇÕßÌý²»¶®Ì«Éî°ÂµÄÊõÓïÈ´¶¼ÖªµÀ¼«×ÏÍâ¹â¿Ì»úµÄÖØÒª£¬Ò²Ìý¶®ÁËÊ¢Ã÷°²ËµµÄÄêµ×ÑéÊÕ¡ª¡ª
¡¡¡¡²»¹ÜÊ¢Ã÷°²ÊDz»ÊÇ»©ÖÚÈ¡³è£¬Õâ¾ø¶ÔÊÇÒ»¸ö´óÐÂÎÅ£¡£¡
¡¡¡¡***
¡¡¡¡×¨ÌâÑݽ²Ê±£¿ÏÞµ½£¿ÁË£¬Ê¢Ã÷°²ºÍ£¿Áֳɽ¨Ò»Ç°Ò»ºóÏÂÀ´£¬µ«ÊôÓÚÀ¶ºÓ¿Æ¼¼µÄÎę̀»¹Ã»£¿ÓнáÊø£¬Õâ²Å¸ÕÀ¿ªá¡Ä»¡£
¡¡¡¡½ÓÏÂÀ´µÄרÌâÑݽ²Ã»£¿ÓÐÄܹ»³¬¹ý¸ßͨ·¢²¼µÄæçÁú820оƬ£¬¸ü²»¿ÉÄܳ¬Ô½Ê¢Ã÷°²µÄ13¡£5nm¹âԴϵͳ¼¼Êõ£¬´ó»áÐǹâÈ«²¿»ã¾Ûµ½£¿¸ßͨºÍ£¿À¶ºÓ¿Æ¼¼Ò»Ç°Ò»ºóµÄÁ½³¡Ñݽ²¡£
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²Ò»Ï½²Ì¨¾Í±»ÍÅÍÅΧס£¬¹úÄڵİ뵼Ìå´óÀС¢¹úÍâµÄ°ëµ¼Ìå¸ß¹Ü£¬ÈÈÇéµÄýÌåºÍ£¿ÔÚ³¡ÌýÖÚ£¬ÎÅ·ç¶øÀ´£¬·¢ÑÔÌáÎÊ£¿»òѰÇóºÏ×÷£¬Â·±»Î§µÃˮй²»Í¨¡£
¡¡¡¡À׿ͺͣ¿Áֳɽ¨¸Ï½ô¼·½øÈ¥¸ô¿ªÈËȺ£¬ÏÈ»¤×ÅÊ¢Ã÷°²°²È«À뿪Ñݽ²Ìü£¬¾ÓÉÇñ²©Ê¿°²ÅÅÁËÒ»¸öÇå¾²µÄ¿Í·¿ÈÃËûÃÇÏÈ´ý×Å£¬ËæºóÈÃѧÉú³öÈ¥Ó¦¸¶Ä½Ãû¶øÀ´µÄÈË¡£
¡¡¡¡Ñ§ÉúÞ¶ÆðÐä×Ó³äÂú¸É¾¢µÂ³öÃÅÓ¦¸¶°ëµ¼ÌåÐУ¿ÒµµÄ´óÀÐÃÇ¡ª¡ª¸ú×ŵ¼Ê¦È«ÇòÅÜ£¬»¹ÊÇÍ·Ò»»Ø×öίÍñ¾Ü¾ø´óÀÐÃǺÏ×÷ÒªÇóµÄÊ£¬¼òÖ±ÈËÉú¸ß¹â¡£
¡¡¡¡¿Í·¿ÀÀ׿Íæ²»µüÎÊ£¿£º¡°Ê¢¹¤£¬¹â¿Ì»ú×é×°ÕâÖÖ¼¼ÊõÄúÒ²»á£¿¡±
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²£º¡°ÓÐËùÉæÁÔ¡£¡±
¡¡¡¡Ç°ÊÀÑз¢¹â¿Ì»úµÄÌõ¼þ±ÈÏÖÔÚ¿Á¿Ì¶àÁË£¬Ò»¸öÈ˶¥Ê®¸öÈËÓã¬Ëû²»µÃ²»Éí¼æ¶àְ˳±ã£¿Ñо¿¸ß½×¹â¿Ì»ú¸´ÔÓµÄ×é×°¡£
¡¡¡¡À׿ͣº¡°ÎÔ²Û¡£¡±
¡¡¡¡ÒªÖªµÀ¹â¿Ì»ú²»¹âÊÇ×Óϵͳ¼¼Êõ¸´ÔÓÄÑÒÔ¹¥ÆÆ£¬ËüÈ«ÉíÉÏ£¿Ï¼¸Íò¸öÁã¼þ×é×°ÆðÀ´¾Í¹»ÈÃÈËÏëÍÂѪ£¬¹ý³Ì»¹²»ÄܳöÏÖ²î´í£¬Ò»¸öСÁã¼þ´íÎó¾ÍÊDZ¨·Ï¡£
¡¡¡¡¹â¿Ì»úµÄ×é×°¼¼Êõ¾«ÃÜ£¬³ý´ËÖ®£¿Í⣬»¹µÃÔÚ×é×°µÄ¹ý³ÌÖÐÉè¼ÆÒ»¿îÉÃ×Ô²ðж¹â¿Ì»ú±ã£¿×Ô¶¯Ëð»ÙºËÐÄϵͳÒÔÃâ¼¼Êõ±»µÁÇԵݲ±£³ÌÐò¡£
¡¡¡¡À׿ͣº¡°×Ô»Ù°²±£³ÌÐòÄúÒ²Éè¼ÆÁËÒ»Ìײ»³É£¿¡±
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²£º¡°ÎÒÕҳ¾ªGÌÖÂÛ¹ý£¬ËûÓÐ˼·ÁË¡£¡±
¡¡¡¡À׿;þÃÎÞÑÔ£¬ÐÄÏ뻹ÓÐʲôÊÇËû¸É²»Á˵ģ¿
¡¡¡¡Ò»ÅÔÇñ²©Ê¿µÄÖúÊÖÈ´ºÜÏÛĽµÄ¿´×ÅÀ׿ͣ¬Óöµ½£¿ÕâÑùµÄÀϰåÒ»¶¨ÊÇÉÏ£¿±²×Ó°ÝÍê·ð³öÃÅ»¹²ÈÁ˹·Êº°É£¡
¡¡¡¡Áֳɽ¨±È½Ï½÷É÷£º¡°Ê¢¹¤£¬ÄãÓм¸·Ö°ÑÎÕ£¿¡±
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²£º¡°ÎÒÖ»Äܱ£Ö¤ÏÈʵÏÖÑù»úÑéÊÕ£¬Á¿²úeuv¿ÖŵÃÔٵȣ¿µÈ£¿¡£¡±
¡¡¡¡¡°ÄǾÍÎÈÁË£¡¡±Áֳɽ¨ÉîºôÎü£¬ÄÑÑÚ¼¤¶¯µÄÇéÐ÷£º¡°ÎÒÃÇ¿ÉÒÔÏȳ¢ÊÔ×é×°Ñù»ú¡ª¡ªÀ¶ºÓϼ¾¶ÈµÄÑз¢×ʽð²»ÓóîÁË¡£ÎÒ¹À¼Æ½ñÃ÷Á½Ìì»áÓÐÈËÀ´¶ÂÎÒÃÇ£¬Òª²»ÏȻؽòÊУ¿¡±
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²ÈöÊÖ²»¹Ü£º¡°ÎÒÃ÷ÌìµÃ»Ø¿Æ´ó¡£ºÏ×÷·½ÃæµÄʽ»ÓÉÄãÃǸºÔ𣬷ǿÆÑÐÏîÄ¿Ïà¹ØÄÑÌâ²»ÒªÕÒÎÒ¡£¡±
¡¡¡¡Áֳɽ¨Ä¿¹â´È°®£¬¿´Ê¢Ã÷°²·Â·ðÔÚ¿´Ò»×ðÉÁÉÁ·¢¹âµÄ²ÆÉñ£¿Ïñ£º¡°Äã˵ÔõôÑù¾ÍÔõôÑù¡£¡±
¡¡¡¡ËµÍêÕâ¾ä»°£¿£¬ËûŤͷ¾Í̬¶ÈÑÏËà¶£ÖöÀ׿ͣº¡°Îҵȣ¿»á´ò¸öµç»°£¿ÈÃÒ¶±ú´¦Àí£¿Í¶×ʺͣ¿¶©µ¥£¬¿Ï¶¨ÓÐÈËÖ±½ÓÁªÏµÀ¶ºÓ×ܲ¿¡£ÎÒÉí±ßÈËÊÖ²»×㣬À×ͬ־£¬¿¿ÄãÁË¡£¡±
¡¡¡¡Éç¿Ö¿ÆÑй·µÄÀ׿ÍÎÅÑÔ¿ªÊ¼ºóÍË£º¡°ÎÒ²»ÐУ¿ÎÒ²»»áÄãÕÒ±ðÈË¡£¡±
¡¡¡¡Áֳɽ¨£º¡°Ö»ÊÇÈÃÄã½Ó´ý¿Í»§¡ª¡ª¡±
¡¡¡¡À׿ÍÒ¡Í·¼á¾Ü£¬ÅԱߵÄÇñ²©Ê¿¼û×´¿ª¿Ú£º¡°²»ÈçÎÒÕÒ¼¸¸öÅóÓѰï°ïÄãÃÇ£¿¡±
¡¡¡¡Áֳɽ¨Ò⶯£º¡°ÈÃÄú¼ûЦ»°£¿ÁË£¬ÇëÎÊ£¿ÄúµÄÅóÓÑÊÇ¡ª¡ª£¿¡±
¡¡¡¡Çñ²©Ê¿Ð¦ÃÐÃУº¡°»ªÐ¾ceo¹»²»¹»¸ñ£¿¡±
¡¡¡¡É̽ç´óÀУ¬¾ø¶Ô¹»¸ñ£¡£¡
¡¡¡¡Áֳɽ¨¸Ï½ô½ÓÊܲ¢±íʾ¸Ðл£¬Çñ²©Ê¿°ÚÊÖ˵£º¡°Ð¡ÊÂÒ»×®£¬Ã»£¿Ê²Ã´´ó²»ÁË¡£ÎÒ²»ÊÇû£¿ÓÐ˽ÐÄ£¬ÎÒ¶Ô×¢×ÊÀ¶ºÓ¿Æ¼¼Ò²ÓÐŨºñµÄÐËȤ¡£µÈ£¿´ó»á½áÊø£¬ÎÒ¿ÖŵÃ×ߣ¿Ò»Ì˽òÊС£¡±
¡¡¡¡Ëû̹°×£¿Ë½ÐÄ£¬È´²»½ÐÈË·´¸Ð¡£
¡¡¡¡¶øÇÒÇñ²©Ê¿»¹ÓÐÁíÒ»ÖØÉí·Ý¼´»ªµç¿Æ¸ß¹Ü£¬»ªµç¿Æ×¢×ÊÀ¶ºÓ¿Æ¼¼Ò»Ö±¶¼ÔÚÁֳɽ¨µÄºÏ×÷¼Æ»®Ãûµ¥ÖС£
¡¡¡¡Áֳɽ¨ÐÀÈ»ÓëÇñ²©Ê¿Ì¸ÂÛºÏ×÷ÊÂÏî¡£
¡¡¡¡Ê¢Ã÷°²ÌýÁËÁ½¶ú±ã£¿²»¸ÒÐËȤµÄ×ߣ¿µ½£¿Ò»ÅÔ£¬·³öËæÉíЯ´øµÄƽ°åµçÄÔ¿´Ê¯Ä«Ï©×îÐÂÂÛÎÄ£¬ÖÜÔâÒ»ÇÐÉùÏì¶¼±»ÆÁ±Î£¬ÖÕÓÚÓÐʱ£¿¼ä¿ªÆôÐÂÒ»ÂֵĿÆÑÐÏîÄ¿ÁË¡£
µÚ75Õ¡¡É½Î¡£§07£§¡¡Ð¡³Â×ÜÄê¼ÍÇáÇᣬÐÄ˼Éî³Á£¬¸úǧÄêÀÏÑýÒ»Ñù¡£
¡¡¡¡¡¾13¡£5nm¹âԴϵͳ±»¹¥ÆÆ£¡¡¿
¡¡¡¡¡¾À¶ºÓ¿Æ¼¼¡£¡¿
¡¡¡¡¡¾Ê¢Ã÷°²&13¡£5nm¹â¿Ì»ú¡£¡¿
¡¡¡¡¡¾Ê¢Ã÷°²ÑïÑÔÄêµ×Íê³É13¡£5nmeuvÑù»úÑéÊÕ£¡¡¿
¡¡¡¡¡¾cstic°æ±¾¡®»ªÉ½ÂÛ½£¡¯¡£¡¿
¡¡¡¡¡¾¸ßͨ·¢²¼14nmæçÁú820оƬ£»ÐÔÄÜÖ±ÆÈi7£¿¡¿
¡¡¡¡±¨µÀÓÚ£¿Á賿³öÀ´£¬Õû¸ö£¿°ëµ¼ÌåȦ¶¼·ÐÌÚÁË¡£
¡¡¡¡¹úÄÚ¹úÍâÇÌÊ×Õ¹ÍûÀ¶ºÓ¿Æ¼¼µÄÏÂÒ»²½¶¯×÷£¿£¬ÓÐÈË·ÖÎöÀ¶ºÓ¿Æ¼¼¹¥ÆÆµÄ13¡£5nm¹âԴϵͳ¼¼Êõ£»ºÁÎÞÒÉÎÊ£¿£»ÏÖÔÚûÓÐÄļҹâ¿Ì»úÑз¢¹«Ë¾µÄ¹âԴϵͳ³¬¹ýÁËÀ¶ºÓ¿Æ¼¼¡£
¡¡¡¡µ«¹â¿Ì»úµÄ×Óϵͳ²»Ö¹¶à¶øÇÒ×é×°¸´ÔÓ£»asml¾ÍÔøÖ±ÑÔ¾ÍËãÂô¸ø»ª¹úһ̨14nmeuv£¬ÔÚ²»°²×°×Ô»ÙϵͳµÄǰÌáÏ£¬ÈÎÓÉËûÃDzðж£»ËûÃÇÒ²¾ø¶Ô×é×°²»Æð£¿À´¡£
¡¡¡¡²»ÊÇasmlÄ¿ÏÂÎÞ³¾£¬¶øÊǹâ¿Ì»ú×éװȷʵÄÑ¡£
¡¡¡¡Òò£¿´ËºÜ¶à°ëµ¼ÌåȦµÄר¼ÒºÍ°®ºÃÕß¶¼¾¾×ÅÕ⣿µã·ÖÎöÊ¢Ã÷°²ÔÚ´ó»áÉϵķŻ°ÊÇ·ñÓÐÄÜÁ¦£¿Íê³É£¬¼Å¼ÅÎÞÃûµÄÀ¶ºÓ¿Æ¼¼ÈçºÎÍÑÓ±¶ø³ö²¢Ò»Ï¦Ö®¼ä¸Ï³¬asml¡£
¡¡¡¡±Æºõ¡¢µç×ÓÂÛ̳Ïà¹ØÌùÈçÓêºó´ºËñÏà¼Ìð³ö£¬ÈÈËÑÏà¹ØÉÏÁËËÄÎåÌõ£¬µ¥ÊÇ¡®Ê¢Ã÷°²¡¯Õ⣿¸ö£¿tag¾ÍÔÚÈÈËÑǰÈý¹ÒÁËÒ»ÕûÌì¡£
¡¡¡¡¡¾ÔÀ´ÎÒÊ¢ÉñÒ»Äêû¶¯¾²°ëÄê²»·¢²©¾ÍÊÇΪÁ˸㷢´óµÄ£¿¡¿
¡¡¡¡¡¾Ê¢ÉñÅ£±ÆÎÒÒѾ˵ÑáÁË¡£¡¿
¡¡¡¡¡¾so£¬ÎÒÄÜÆÚ´ýÃ÷ÄêÓÃÉϹú²úоƬµÄÊÖ»úÂ𣿡¿
¡¡¡¡¡¾¿ÉÒԵİɡ£ÕÕÊ¢ÉñµÄ˵·¨£¬Äêµ×Íê³ÉÑù»ú£»Ã÷ÄêÊÛ³ö¿ÉÁ¿²ú¸ß½×euv£¬¹úÄÚÊÖ»ú³§ÉÌÓ¦¸ÃÔç¾ÍÎÅ·ç¶ø¶¯ÀÁ˺Ï×÷£¿£¬¿Ï¶¨ÇÀÏÈ£¿Ò»²½Âòµ½£¿¹ú²úµÄeuv£¡¡¿
¡¡¡¡¡¾±£Êز²⣻Ã÷ÄêÄêµ×Ó¦¸Ã»á·¢²¼Ò»¿îȫУ¿µÄ¹ú²úоƬ£¡¡¿
¡¡¡¡¡¾»ªÐË´Ë¿ÌËÉÁËÒ»¿ÚÆø²¢·îÉϺÏ×÷£¿¶©µ¥¡£¡¿
¡¡¡¡¡¾Ä³Ð©¹ú²úÊÖ»ú£¬»ªÐ¾¹ú¼Ê½ô¸úÆäºó£»´óËÉÒ»¿ÚÆø£»²»ÓÃÔâ´ó¸çÔâ¹ýµÄ×ï¡£¡¿
¡¡¡¡¡¾¹þ¹þ¹þ¹þ¹þ¡¡ÎÒÒ»Ïëµ½£¿ÃÀ¹úÉÌÎñ²¿ÖƲûªÐË£»¸ßͨÄóöУ¿Ñз¢µÄ¶¥¼¶Ð¾Æ¬£»¾ÍΪÁËÖØ´´»