“……”
接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏，每一句报告简短有力，错落有序，整洁飞快，无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情？。
“启动二氧化碳脉冲激光器！”
话音一落，盛明安按下开关按钮，众人抬头看向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备，一尘不染的银白色设备在冷光下散发出奇妙无机质的机械美。
机械表面很平静，盛明安等人看不到内部正在发生的变化，他们只能通过最终结果判断是否成功，而过程很短暂、很快速，快到频率一秒五万次！
盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化，它切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看实验。
视角先是银白色的机械，瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备，时间和空间被虚化，内部一片黑暗，若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点，先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈，圆圈中心一点亮光逐渐向外？扩张，由圆点扩张成椭圆形，光越来？越盛、越来？越亮，猛然爆发出闪亮耀眼的白光，瞬间照亮黑暗的内部，一条细长发亮的紫光倏然蹿出发光口，通过圆形长管，进入光束矫正器，通过能量转换器……
最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。
视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现？数以万计的紫色细长光线穿过一个又？一个圆形长管最后以平均两次击中同？一靶材料电离锡原子，释放等离子体？，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这？号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多？重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体？。
接下来？是利用收集镜收集等离子体？发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多？次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。
键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我？不知道。”
助手姑娘又？没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
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盛明安：“各组报告结果。”
来？了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2％！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同？步对准，激光等离子体？在预估范围内捕获！”
四组报告……
随着一个又？一个与仿真？预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我？们的科研项目，激光等离子体？极紫外？光刻光源是——”
“13。5nm！”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自？己的耳朵坏了，他们出现？了幻听。
盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”
林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说？13。5nm……不是16nm？”
同？盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现？不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0。5nm？”
杜颂捂着心脏，喃喃说？道：“不是吧……我？整天研究的就是这？么牛逼的玩意？”
助理姑娘掐得更？狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身？体？的疼痛。
“啊，”盛明安下意识看向陈惊璆：“你们都有异议吗？”
陈惊璆惊讶过后便是一笑：“没有异议。他们惊喜过头了。”
盛明安又？看向林成建等人，谁知他们面面相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒……“啊啊啊啊——！！！”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会影响到实验室设备，热爱实验室设备的盛明安就该拉下脸，而负责掏钱买设备的陈惊璆应该会冷脸赶人出去了。
但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情？放纵无以言表的兴奋和激动。
第70章 山巍＇02＇ 挽狂澜！
光源系统设备验收阶段圆满完成；接下来就是高阶光刻机的组装。
除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余下零件所需还有更精确的镜头组、反射镜，以及arf光刻胶等；国内暂时还没有研发出来。
但这都不是问题。
因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破；剩下的arf光刻胶等技术要求很高；可相对来说，难度系数不是特别大。
林成建也很兴奋，他勉强保持冷静；对盛明安和陈惊璆说：“光源系统设备验收通过，ic设计部正在攻破20nm以下的鳍式场效应晶体管工艺，尽量保证我们能够生？产出13。5nm工艺以上更高精度的芯片。”
鳍式场效应晶体管是一种防止因高精度工艺而导致晶体管失去开关作用而发明的工艺，采用3d立体？晶体管架构，突破芯片晶体管的22nm工艺极限，不直接作用于光刻机，而是ic设计工程师必须掌握的一项核心技术。
陈惊璆：“那就交给你了。”
“放心；我会尽快解决这个技术难点。”林成建现在充满信心，又对盛明安说：“保险起见，光源系统设备最好赶紧申请专利保护。”
盛明安：“我知道的。”
光源系统设备虽有多人团队协作发明；但真？正突破该关键性技术的人是盛明安，所以他是申请专利的不二人选。
程院长凝视光源系统设备；长久无言。
直到林成建在盛明安身边提议专利申请；他才回？过神来；深深呼出胸中那口沉淀多年的郁气；心情畅快，问盛明安：“你打算申请提前毕业？”
盛明安惊讶：“您知道？”
“你是张教授的得意门生，他经常在外面吹嘘你，申市光机所谁不知道？”程院长一想起张群芳炫耀的嘴脸就想翻白眼；他说：“如果你想申请提前毕业，光源系统被攻破这份科研成果的确能让科大酌情考量，同意你的申请。不过同意是一方面，能不能通过考试又是另一方面的事。”
提前申请毕业可以，修足学分、通过考试。
学分不足的前提下提前申请毕业也可以，通过科大校长、学院教授等权威人士的考验就行。
“你剩下复习的时间也不多，这样，反正光源系统设备已经成功验收，接下来的设备完善、光源优化由我来完成，你就专心复习怎么样？”程院长建议道。
盛明安思索几秒，点头同意。
程院长见他痛快点头，好笑询问：“你不怕我趁你准备毕业复习偷走你的科研成果？”
盛明安闻言飞快的看了眼程院长，表情有点一言难尽：“程院，实验室里装满了摄像头。”
想偷科研成果也得偷得到，就算偷到了也得销毁蓝河科技团队研发阶段的视频录像，否则就是身败名裂的下场。
程院长一愣，尴尬的‘哈哈’两声顺便摆手表示人老了容易糊涂，居然问出这么蠢的问题。
嘴上自嘲，但程院长脸上不见难堪窘态，还留着激动的余晖。
最难的光源系统设备被解决，他仿佛看到了属于华国的高阶光刻机崛起，仿佛看到那只扼住华国半导体产业链发展的强盗的手被利落斩断的未来。
所以一时高兴忘形犯点蠢怎么了？
程院长乐呵呵想着他就喜欢这种前提下的犯蠢，令人身心愉悦。
“对了！”程院长忽然想起什么，赶紧说道：“小陈总，你不会忘了蓝河科技跟微电子科技的合作吧？”
陈惊璆：“程院放心，蓝河科技和微电子科技一切合作遵照合约来办。无论是光源系统设备还是最终研发的高阶光刻机都会率先与微电子科技展开合作。”
程院长放心了。
“有小陈总这句话，我就彻底安心了。”
程院长又闲聊了几句话才离开实验室，回？到蓝河科技为他准备的办公室，联系微电子科技老总，将？蓝河科技的光源系统设备验收成功这一消息告知。
“光源系统被攻破了？！！”微电子科技老总惊呼，差点跳出椅子。
“对，所以我的建议是增进微电子科技与蓝河科技的合作，同时注资入股。13。5nm的光源设备已被验收，如果国产高阶光刻机有可能在今年或明年被研发出来，我相信一定是在蓝河科技的实验室问世。”
微电子科技老总沉吟片刻问道：“您这么看好蓝河科技？”
程院长看向前面挂在墙上的一幅写着‘天道酬勤’的字画，长叹一口气说道：“因为蓝河科技有盛明安。”
一个不得不承认的物理天才。
当你以为他只能在光学领域里？大放光彩时，他却告诉你，他可以横跨凝聚态物理轻松解决量子力学的难题之一。
当你以为他或许从此扎根理论物理，他又沉寂了一年时间完成涉及光学、机械工程、电子电路、化工等多门学科的高阶光刻机。
接下来无论盛明安解决了物理界什么样的百年难题，程院长都不会觉得惊讶了。
微电子科技老总：“我会召开董事会，郑重考虑您的建议，以及微电子科技和蓝河科技未来的合作。”
下一秒，他话题一转，语气颇为轻松：“现在看来，落地津市的微电子科技分部不用关门了。”
微电子科技总部在申市，去年在津市商政两界游说下带着分部入驻津市，受美国商务部芯片断供、鸿芯暧昧不清的态度影响，总部建议关停津市分部的声浪越来越大。
关闭津市分部带来非常大的损失，但他们认为这能够及时止损。
当初一力推平反对声浪决定落地津市的人正是微电子科技老总，他近来承受的压力很大，因此程院长带来的消息对他来说绝对是个再好不过的消息！
结束和程院长的通话，微电子科技老总点开总助留言：“……董事层一致表示开召开会议商讨落地津市的分公司是否关停一事，以及对您决策失误导致的企业损失的讨论。”
微电子科技老总听完冷笑了声，如果蓝河科技没有攻破复杂的光源系统，恐怕他会被董事层讨伐得主动让贤辞职也说不定！
老总精神奕奕，回？复总助：“通知董事会和管理层，就说我同意他们的会议请求，时间定在明天上午，助理层今晚加班敲定一个合作协议……”
***
盛氏科技有限责任公司，高层会议。
盛外公坐会议室主位，闭着眼不发一词，会议桌旁一群人吵得口沫横飞，不约而同互甩责任，指责对方当初力排众议投资鸿芯，结果现在赔得血本无归。
董事甲冷笑：“你好意思说我？当初是你深夜一个个打电话撺掇我们这些老家伙通过公司和鸿芯合作，现在鸿芯自己芯片断供，拿不出我们当初签订的16nm芯片，害我们现在被下游厂家追责！”
所有人咬牙切齿：“原定的16nm四核核心处理器的手机造不出来，必须赔付高额违约金不说，公司现金流短缺，资金链断裂——”
说到此处已经说不下去了，后果就是雪崩山塌，现在则是巨额债务悬头顶将落未落。
底下人狗咬狗一嘴毛，忽然董事乙转移火力责问盛外公：“老盛，你不说句话？”
盛外公睁开眼：“投资有风险，盈亏自负，小孩都懂的道？理，你们不懂？”
当初董事层不顾盛外公苦口婆心的劝诫，甚至有点逼迫性质的逼着盛外公投资鸿芯，那时盛外公就已经对这群曾经一起打江山的老伙伴心灰意冷。
在场众人闻言脸色不佳，面子挂不住，回？想当初自己做的那些事确实不厚道？，于是言语别扭的道？歉。